首先对操作人员进行严格培训和要求。SF6高压电器设备的检修人员须经专业训练，熟悉设备内部结构; 使用单位的专业技术人员必须编制切合实际的检修工艺规程。SF6高压电器设备解体检修，应在大气湿度低于60%的干燥天气进行，同时注意防止灰尘、杂质和水分侵入其内部，必要时不断地向检修的气室通入干燥的热空气，以保持内部干燥。在设备方面，要注意以下几点：

  1. SF6气体的回收、净化、储存

  这是解体检修中必经环节，必须用专用回收装置完成，气体中水份和SF6气体分解产物通过净化器被吸附，使气体在回收过程中被净化，并避免SF6气体外逸，污染工作环境;另一方面必须事先喷刷管路，严防水份、油和空气等杂质混入SF6气体，降低气体绝缘。回收净化后的SF6气体经压缩，储存于SF6气瓶中。

  2. 灭弧室的检修

  灭弧室检修应按制造厂说明书、检修工艺规程进行，主要是检查喷口烧伤程度，按规定确定是否更换，相对运动的部位均涂滑脂，涂层不宜太厚，灭弧室部件一定要注意清洁，严防灰尘、水分、纤维物质等进入内部。

  3. 部件间的密封面

  密封圈、密封面、密封槽等用无水酒精擦洗干净，并凉干。密封面、槽光亮洁净、无划痕、无锈斑，密封环均更换，保存期1年以上一般不能使用。为了增加密封可靠性，密封圈、密封面(槽)应涂以适量密封脂，现场特别注意，硅脂不能用于SF6高压电器中。

  4. 抽真空及气室的干燥处理

  检修前必须抽真空，主要为了排出设备内部残存的SF6气体及分解产物，除去气室中组件及外壳表面的吸附水，用高纯度氮气或干燥空气吹洗气室、管路、组件的附着物，为重新充入SF6气体做准备。检修后的灭弧室在装入吸附剂之后，立即抽真空，以免吸附剂吸附空气中的大量水份而失效。抽真空检漏表显示密封不良时，可以向设备内充入干燥的SF6、氮混合气体，重新处理后，再抽真空。如果在重新处理密封过程中，吸附剂在空气中暴露时间长时，应立即更换。

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