真空度降低的原因

灭弧室内部材料含气释放

灭弧室漏气：灭弧室密封质量、机械冲击

真空度检测方法：

火花计法-淮确度低，人为、环境影响因素大)观察法一准确度低，人为、环境影响因素大交流耐压法-无法定量，不能作出预判断。

真空度测试仪法

真空度在线监测：电光变换法、耦合电容法、压力传感法。

真空度测试仪基本原理

磁控放电法-高压脉冲和磁场脉冲同时作用于真空灭弧室，使之内部产生脉冲磁控放电现象，产生离子电流，测量离子电流并与己知的电流-真空度曲线比较，得出真空度。

各厂产品差别

离子电流取值方法-峰值方法、积分方法

磁场线圈形式一固定式、缠绕式、对折式。

内存曲线数量一粗分、细分

测试精度问题

前测量范围0-10-4Pa，可达到10级。

现场测试注意事项

灭弧室表面应擦拭干净

磁场线圈尽量贴近灭弧室

连续重复测试同一灭弧室，数据可能不准

测试完成后，真空开关真空度测试仪应放电。

测试结果处理建议

不能完全排除交流耐压试验，应结合使用

测试结果10-4Pa数量级及以下，合格

测试结果在10-3Pa数量级，加强监测

测试结果10-2Pa数量级及以上，建议更换。