SF6气体回收装置的净化、干燥指装置在不降低原气体的纯度情况下，对SF6气体中所含有的固体杂质、油份、水份加以去除，从而保证进入电器设备的SF6气体的纯度。一般的净化干燥随回收贮存和充放过程同步完成，自循环净化方法如下：

  SF6气体回收装置贮液罐内SF6自循环时，开冷冻压缩机、V5、V2、SF6压缩机、V3。若SF6压缩机排气压力太高可调节V2阀门开启大小，以便气体正常循环。

  SF6气体回收装置自循环结束时，关V5、V2、SF6压缩机、V6、冷冻压缩机等。