SF6气体回收装置具有回收、充放、净化、抽真空、贮存、灌瓶等综合性功能，系统比较完全，参见SF6气体回收装置系统图。各功能的串联或切换主要通过操作集中于面板一侧的电控箱和球阀来完成。

SF6气体回收装置的基本工作原理是采用冷冻液化法。在回收时，利用压缩机的抽吸性和压缩性把SF6电器设备内一定压力的SF6气体吸入压缩机，并压缩至某一较高的压力。同时利用R22制冷剂的低蒸发温度特性， 将较高温度的SFo气体冷却至冷凝温度进行液化、贮存。这样连续抽吸至SF。压缩机串联运行，直至达到回收终压力。

在充放时，首先利用SF6气体回收装置的真空泵对SF6电器设备(或钢瓶)和连接管路进行抽真空，然后直接利用压差或利用压缩机的抽吸性并造成一定的压差将装置贮存容器内的SF6，充入SF6电器设备，直至达到所需的工作压力。在需灌瓶时则同时利用如前所述的R22制冷剂的特性，将液化的SF6直接灌入钢瓶。

SF6气体回收装置净化功能是在完成上述回收、充放功能时同步完成的。

系统中设置了三只油分离器，分别安装在真空泵出口一只及压缩机的出口二只，以有效去除SF6气体所带的油份。

系统回路中设置了干燥过滤器，以保证进入贮存容器的SF6的纯度并有效去除水份。过滤器带有加热再生装置，可在抽真空下加热再生，分子筛从而能反复使用。